教育研究設備

無響室
周囲からの反射音がない部屋です.ここでは,対象物から直接出ている音だけを取得できます。
シールドルーム
イエロールーム
パソコン
十分な台数のノートパソコンと無線LANの環境を備えています。
雰囲気式高温加熱炉
電気特性評価システム
電力・エネルギー教育用実験装置
アナライジング交流電源
エキシマレーザー装置
ルミネッセンス分光分析装置
高速スパッタリング装置
真空蒸着装置
フーリエ変換赤外分光分析装置(FTIR)
ウエハアナライザ装置
エリプソメーター