教育研究設備

無響室

シールドルーム

パソコン

電力・エネルギー教育用実験装置

レーザー加工機

3Dプロッタ

基板加工機

雰囲気式高温加熱炉

真空蒸着装置

フーリエ変換赤外分光分析装置（FTIR）

アナライジング交流電源

電気特性評価システム

高速スパッタリング装置

エキシマレーザー装置